1. 製品概要
拡散石英ボート積み降ろし機は、太陽光発電太陽電池の拡散プロセスを全自動で積み下ろしするための自動支援装置であり、科学的かつ合理的な機械構造、高精度、高い生産能力、安定した性能、使いやすいという特徴を備えています。運用と柔軟なアプリケーション
主な機能
太陽電池シリコンセルウェーハ製造における拡散プロセスにおけるウェーハの全自動ロードおよびアンロードに適した統合システム。
クォーツボートの乗り降りの方法は、手動でボートを持ち上げます。
基本構成
拡散石英ボート積み降ろし機 D6000 の主要コンポーネントは次のとおりです。 セラミック材料真空吸引カップ、きれい信頼性が高く正確な石英ボートと高精度フラワー バスケット ベアリングに加え、耐久性の高い高精度機能により、装置の安定した動作を保証します。フラワー バスケットは、1 つのインと 1 つのアウトの自動フラワー バスケット システムです。秩序ある生産を確保するため。
マシン全体は、完全に透明なプレキシガラス シールドを備えたヨーロッパ標準のフレーム構造を採用しています。フレーム 鋼構造の溶接表面は防食処理が施されており、強く、耐久性があり、安定しています。
電気原理的には、PLC、高速デジタルサーボモーター、高精度サーボドライブシステムを採用しています。
2. 技術パラメータ
明瑞陶磁器太陽光発電全自動石英ボート、グラファイトボート、PECVD 上部および下部積み降ろし機の製造と加工を専門としていますセラミック吸盤 a>、セラミック吸引ディスクなどの部品も取り揃えております。図面に合わせた特注加工により、精度とコストパフォーマンスを確保します。
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